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去除灰塵和油污；精細清洗和去靜電；提高表面的附著能力；提高表面粘接的可靠性和持久性； AF/AS 層褪鍍。
● 真空腔體采用不銹鋼制作而成；
● 超低溫：溫度低至40度；
● 全方位表面清洗：異向等離子體可以進入超細狹縫清洗；
● 環(huán)保：處理前后無有害物質(zhì)產(chǎn)生，遠離有害溶劑對人體的傷害；
● 穩(wěn)定：連續(xù)性和恒定性來維持機器設(shè)備 運行時的穩(wěn)定性；
● 清洗：去除灰塵和油污，精細清洗和去靜電；
● 活化：提高表面的附著能力，物體表面能大幅增加 ；
● 褪鍍：AF/AS 層褪鍍。
功能配置 | 技術(shù)參數(shù) | |||
型號 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
外型尺寸(mm) | L=1200 W=920 H=1690 | |||
真空腔內(nèi)尺寸(mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 |
真空腔材質(zhì) | 不銹鋼 | |||
電極板尺寸(mm) | 319(L)×374(W) | 320(L)×420(W) | 380(L)×440(W) | 520(L)×470(W) |
電極板材質(zhì) | 專用鋁電極 | |||
重量 | 560kg | 580kg | 630kg | 680kg |
控制 | PLC+觸摸屏 | |||
電極板結(jié)構(gòu) | 水平8層 | |||
真空泵系統(tǒng) | 兩級油旋片真空泵、羅茨真空泵組 | |||
真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻真空計 | |||
氣體測量系統(tǒng) | 高精密質(zhì)量流量計 | |||
等離子發(fā)生器 | 高精密0-500W等離子發(fā)生器 | 高精密0-1000W等離子發(fā) 生器 | ||
等離子匹配器 | 高精密0-500W自動匹配器 | 高精密0-1000W自動匹配 器 | ||
工作真空度 | 10-100 Pa | |||
真空泵極限壓力 | 5×101Pa | |||
抽真空時間 | ≤55S | ≤70S | ≤80S | ≤100S |
破真空時間 | ≤15S | ≤20S | ≤25S | ≤30S |
氣體控制范圍 | 質(zhì)量流量0-300SCCM(可自選) | 質(zhì)量流量0-500SCCM(可 自選) | ||
射頻電源 | 0-500W(范圍內(nèi)可調(diào)) | 0-1000W(范圍內(nèi)可調(diào)) | ||
操作模式 | 人工取放， 一鍵全自動操作 | |||
電源 | 三相380V | |||
總功率 | 4 kw | 4.5 kW | ||
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